Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Phương pháp bức xạ, kĩ thuật khắc khí, Kĩ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói.
Thông tin trích dẫn: Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử. Vũ Ngọc Hùng. NXB Bách khoa Hà Nội, 2016.
Vui lòng truy cập địa chỉ sau để download và biết thêm thông tin chi tiết: http://lib.haui.edu.vn/opac80/Detail.aspx?id=7944&f=fulltext&v=C%u00f4ng+ngh%u1ec7+vi+h%u1ec7+th%u1ed1ng+c%u01a1+%u0111i%u1ec7n+t%u1eed
Bạn đọc có thể tìm thêm tài liệu tại Thư viện ĐH Công nghiệp Hà Nội tại địa chỉ: http://lib.haui.edu.vn/opac80/