Phương pháp bức xạ, kĩ thuật khắc khí, Kĩ thuật chế tạo màng mỏng, công nghệ vi cơ khối ướt, công nghệ vi cơ bề mặt, công nghệ liga, công nghệ đóng gói.
Thông tin trích dẫn: Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử. Vũ Ngọc Hùng. NXB Bách khoa Hà Nội, 2016.
Vui lòng truy cập địa chỉ sau để download và biết thêm thông tin chi tiết: http://lib.haui.edu.vn/opac80/Detail.aspx?id=7944&f=fulltext&v=C%u00f4ng+ngh%u1ec7+vi+h%u1ec7+th%u1ed1ng+c%u01a1+%u0111i%u1ec7n+t%u1eed
Bạn đọc có thể tìm thêm tài liệu tại Thư viện ĐH Công nghiệp Hà Nội tại địa chỉ: http://lib.haui.edu.vn/opac80/
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.